| NCID | BN01703089 |
| タイトル | デバイスとプロセス / 西澤潤一編||デバイス ト プロセス |
| 出版者 | 東京 : 工業調査会 , 1987.8- |
| 形態 | 冊 ; 27cm |
| 注記 | 各章末: 参考文献 |
| シリーズ名 | 半導体研究 ; 26, 28, 30, 32, 34, 36, 38, 40-46巻[超LSI技術 ; 11-24]
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| 分類 | NDC8:549
NDLC:ND371
NDLC:ND386 |
| 件名 | BSH:半導体
NDLSH:半導体
NDLSH:集積回路
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| 著者情報 | 西澤, 潤一(1926-) (ニシザワ, ジュンイチ)
半導体研究振興会 (ハンドウタイ ケンキュウ シンコウカイ)
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| 和洋区分 | 和 |
| 標題言語 | 日本語 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 出版国 | 日本 |
| ISBN | 4769310617([その1])
4769310684(その2)
4769310749(その3)
4769310838(その4)
4769310889(その5)
4769310978(その6)
4769311133(その7)
476931129X(その8)
4769311400(その9)
4769311486(その10)
4769311567(その11)
476931163X(その12)
4769311737(その13)
4769311869(その14)
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