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書誌詳細
NCID
BA59010960
タイトル
微細加工技術 / 高分子学会編||ビサイ カコウ ギジュツ
出版者
東京 : エヌ・ティー・エス , 2002.9
形態
v, 192, vp ; 27cm
注記
(社)高分子学会主催のセミナー(2002年4月16日開催)を講演録として編集したもの
奥付の編集: エヌ・ティー・エス編集企画部
各章末: 参考文献
応用編は固有の標題をもつ別書誌<BA62862404>
シリーズ名
ポリマーフロンティア21シリーズ
; 13
分類
NDC9:549.8
件名
NDLSH:オプトエレクトロニクス
NDLSH:半導体
著者情報
高分子学会
(コウブンシ ガッカイ)
和洋区分
和
標題言語
日本語
本文言語
日本語
出版国
日本
ISBN
4860430069(基礎編)
番号
NBN : JP20332150
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所蔵一覧
巻号
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資料ID
状態
備考
1
基礎編
0
図書館(書庫)
549.8:Ko
206804341
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