| NCID | BN00148324 |
| タイトル | 入門真空・薄膜・スパッタリング / R.V.Stuart著 ; 毛利衛, 数坂昭夫共訳||ニュウモン シンクウ ハクマク スパッタリング |
| 出版者 | 東京 : 技報堂出版 , 1985.10 |
| 形態 | 2,2,3,145p ; 22cm |
| 別書名 | Vacuum technology, thin films, and sputtering
真空・薄幕・スパッタリング : 入門
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| 分類 | NDC8:534.93
NDLC:NB126 |
| 件名 | NDLSH:真空工学
NDLSH:薄膜
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| 著者情報 | Stuart, R. V.
毛利, 衛 (モウリ, マモル)
数坂, 昭夫 (カズサカ, アキオ)
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| 和洋区分 | 和 |
| 標題言語 | 日本語 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 原作言語 | 英語 |
| 出版国 | 日本 |
| ISBN | 4765503585
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| 番号 | NBN : JP86011799 |