| NCID | BN02783006 |
| タイトル | 真空蒸着 / ジークフリート・シラー, ウルリッヒ・ハイジッヒ著 ; 日本真空技術株式会社訳||シンクウ ジョウチャク |
| 出版者 | 東京 : アグネ , 1977.5 |
| 形態 | 144p ; 22cm |
| 別書名 | Bedampfungs-technik : verfahren Einrichtungen Anwendungen
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| 注記 | 文献:p139〜144 |
| 分類 | NDC6:549
NDLC:ND351 |
| 件名 | NDLSH:薄膜
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| 著者情報 | Schiller, Siegfried, 1933-
Heisig, Ullrich, 1933-
日本真空技術株式会社 (ニホン シンクウ ギジュツ カブシキ ガイシャ)
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| 和洋区分 | 和 |
| 標題言語 | 日本語 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 原作言語 | ドイツ語 |
| 出版国 | 日本 |
| ISBN | 4750704091
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| 番号 | NBN : JP77022467 |