NCID | BA69821835 |
タイトル | イオン工学ハンドブック : ナノテクノロジーへの道を拓く : 薄膜合成・加工・イオン注入・表面改質・デバイス応用・マイクロマシン(等) / 平尾孝編集委員長 ; 岩本信也 [ほか] 編集委員||イオン コウガク ハンド ブック : ナノ テクノロジー エノ ミチ オ ヒラク : ハクマク ゴウセイ カコウ イオン チュウニュウ ヒョウメン カイシツ デバイス オウヨウ マイクロ マシン トウ |
出版者 | 枚方 : イオン工学研究所 東京 : 日刊工業新聞社 (発売) , 2004.10 |
形態 | xviii, 1126p ; 27cm |
別書名 | Ion engineering handbook ナノテクノロジーへの道を拓くイオン工学ハンドブック : 薄膜合成加工イオン注入表面改質デバイス応用マイクロマシン等
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注記 | 監修: 水野博之 その他の編集委員: 尾浦憲治郎 , 鯉沼秀臣, 笹部馨, 松波弘之 参考文献あり |
分類 | NDC9:549.1 NDLC:ND351 |
件名 | NDLSH:イオン
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著者情報 | 平尾, 孝 (ヒラオ, タカシ) 岩本, 信也 (イワモト, ノブヤ) 尾浦, 憲治郎(1941-) (オウラ, ケンジロウ) 鯉沼, 秀臣 (コイヌマ, ヒデオミ) 松波, 弘之(1939-) (マツナミ, ヒロユキ) 水野, 博之 (ミズノ, ヒロユキ) 水野, 博之||ミズノ, ヒロユキ
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和洋区分 | 和 |
標題言語 | 日本語 |
本文言語 | 日本語 |
出版国 | 日本 |
ISBN | 4526053805
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