NCID | BA35144601 |
タイトル | マイクロ加工の物理と応用 / 吉田善一著||マイクロ カコウ ノ ブツリ ト オウヨウ |
出版者 | 東京 : 裳華房 , 1998.3 |
形態 | x, 234p ; 22cm |
別書名 | The physics and technology of microfabrication
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注記 | 欧文標題は標題紙裏による 付: 参考文献, 参考書 |
シリーズ名 | 応用物理学選書 ; 8
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分類 | NDC8:549.7 NDC9:549.7 NDC9:549.8 NDLC:ND371 |
件名 | BSH:集積回路
BSH:電子光学
NDLSH:半導体
NDLSH:機械工作
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著者情報 | 吉田, 善一(1957-) (ヨシダ, ヨシカズ)
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和洋区分 | 和 |
標題言語 | 日本語 |
本文言語 | 日本語 |
出版国 | 日本 |
ISBN | 4785325089
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番号 | NBN : JP98089753 OTHN : JLA:98013337 |