| NCID | BN15970232 |
| タイトル | 超微細加工技術 / 応用物理学会編 ; 徳山巍編著||チョウビサイ カコウ ギジュツ |
| 出版者 | 東京 : オーム社 , 1997.2 |
| 形態 | xiv, 309p ; 22cm |
| 注記 | 参考文献: 各章末
索引: p[305]-309
執筆: 徳山巍ほか |
| シリーズ名 | 応用物理学シリーズ ; 専門コース||センモン コース
|
| 分類 | NDC9:549.7
NDC8:573.5
NDC8:549.8
NDLC:PA241 |
| 件名 | NDLSH:ガラス
NDLSH:ガラス製品
BSH:半導体
NDLSH:集積回路
|
| 著者情報 | 応用物理学会 (オウヨウ ブツリ ガッカイ)
徳山, 巍(1929-) (トクヤマ, タカシ)
|
| 和洋区分 | 和 |
| 標題言語 | 日本語 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 出版国 | 日本 |
| ISBN | 427402332X
|