| NCID | BN00435789 |
| タイトル | VLSIの薄膜技術 / 伊藤隆司, 石川元, 中村宏昭共著||VLSI ノ ハクマク ギジュツ |
| 出版者 | 東京 : 丸善 , 1986.9 |
| 形態 | xii, 250p ; 22cm |
| 注記 | 各章末:文献 |
| シリーズ名 | 電子材料シリーズ
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| 分類 | NDC8:549.7
NDC7:549.8
NDLC:ND386 |
| 件名 | BSH:集積回路
BSH:薄膜
NDLSH:集積回路
NDLSH:薄膜
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| 著者情報 | 伊藤, 隆司 (イトウ, タカシ)
石川, 元 (イシカワ, ハジメ)
中村, 宏昭 (ナカムラ, ヒロアキ)
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| 和洋区分 | 和 |
| 標題言語 | 日本語 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 出版国 | 日本 |
| ISBN | 4621031120
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