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書誌詳細
  

NCIDBN11034225
タイトル化合物半導体 : プロセスと化学 / 白川二 [ほか] 著||カゴウブツ ハンドウタイ : プロセス ト カガク
出版者東京 : 大日本図書 , 1994.6
形態iv, 190p ; 22cm
シリーズ名新産業化学シリーズ
分類NDC8:549.8
件名BSH:半導体
著者情報白川, 二 (シラカワ, ツグル)
和洋区分和
標題言語日本語
本文言語日本語
出版国日本
ISBN4477004818
番号OTHN : JLA:94023701
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