書誌詳細
  

NCIDBN01517109
タイトルSOI構造形成技術 / 古川静二郎編著||SOI コウゾウ ケイセイ ギジュツ
出版者東京 : 産業図書 , 1987.10
形態281p ; 22cm
シリーズ名集積回路プロセス技術シリーズ
分類NDC8:549.7
NDC7:549.8
件名BSH:集積回路
NDLSH:半導体
NDLSH:シリコン(半導体)
著者情報古川, 静二郎(1934-) (フルカワ, セイジロウ)
和洋区分和
標題言語日本語
本文言語日本語
出版国日本
ISBN4782856253
番号OTHN : JLA:87-27566
WebCatPlus を見る    CiNii Books を見る
所蔵一覧
巻号予約予約人数所在請求記号資料ID状態備考
1 0図書館(閲覧室)549.7:S890063515 利用可  

選択行を：  

▲ページトップへ