| NCID | BN00164488 |
| タイトル | スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用 / 金原粲著||スパタリング ゲンショウ : キソ ト ハクマク ・ コーティング ギジュツ エノ オウヨウ |
| 出版者 | 東京 : 東京大学出版会 , 1984.3 |
| 形態 | ix, 231p ; 22cm |
| 注記 | 各章末: 参考文献
一般的参考書: p226 |
| 分類 | NDC8:549
NDLC:ND371
NDC9:549.8 |
| 件名 | NDLSH:薄膜
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| 著者情報 | 金原, 粲 (1933-) (キンバラ, アキラ)
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| 和洋区分 | 和 |
| 標題言語 | 日本語 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 出版国 | 日本 |
| ISBN | 4130610473
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| 番号 | NBN : JP84042324 |