| NCID | BN02297664 |
| タイトル | スパッタ技術 / 和佐清孝, 早川茂著||スパッタ ギジュツ |
| 出版者 | 東京 : 共立出版 , 1988.6 |
| 形態 | v, 227p ; 22cm |
| 注記 | 文献: 各章末 |
| 分類 | NDC8:431.86
NDC8:549
NDC7:431.89 |
| 件名 | BSH:薄膜
NDLSH:薄膜
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| 著者情報 | 和佐, 清孝 (ワサ, キヨタカ)
早川, 茂 (ハヤカワ, シゲル)
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| 和洋区分 | 和 |
| 標題言語 | 日本語 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 出版国 | 日本 |
| ISBN | 4320084772
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| 番号 | OTHN : JLA:88-14200 |