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書誌詳細
  

NCIDBN0059785X
タイトル半導体プラズマプロセス技術 / 菅野卓雄編著||ハンドウタイ プラズマ プロセス ギジュツ
出版者東京 : 産業図書 , 1980.7
形態6, 373p ; 22cm
注記各章末:参考文献
シリーズ名集積回路プロセス技術シリーズ
分類NDC6:549.7
NDC8:549.7
NDLC:ND386
件名NDLSH:集積回路
著者情報菅野, 卓雄(1931-) (スガノ, タクオ)
和洋区分和
標題言語日本語
本文言語日本語
出版国日本
ISBN4782856210
番号NBN : JP80033444
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巻号予約予約人数所在請求記号資料ID状態備考
1 0図書館(書庫)549.7:H821504600 利用可  

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