書誌詳細
  

NCIDBN00697901
タイトル微細加工 / 半導体研究振興会編||ビサイ カコウ
出版者東京 : 工業調査会 , 1977.12
形態9, 376p ; 27cm
シリーズ名半導体研究 ; 14[超LSI技術 ; 1]
件名NDLSH:半導体
著者情報半導体研究振興会 (ハンドウタイ ケンキュウ シンコウカイ)
和洋区分和
標題言語日本語
本文言語日本語
出版国日本
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所蔵一覧
巻号予約予約人数所在請求記号資料ID状態備考
1 0図書館(書庫)549:H782028415 利用可  

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