| NCID | BN0975749X |
| タイトル | 超精密平面と面粗さ / 次世代の超精密加工技術編集委員会編集||チョウセイミツ ヘイメン ト メンアラサ |
| 出版者 | 東京 : 産業技術サービスセンター , 1993.10 |
| 形態 | 397p ; 27cm |
| 注記 | 企画:日本工業技術振興協会
編集委員会:小林昭ほか
執筆者:小林昭ほか
各章末:参考文献 |
| シリーズ名 | 次世代の超精密加工技術 ; 上巻
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| 分類 | NDC8:532 |
| 著者情報 | 次世代の超精密加工技術編集委員会 (ジセダイ ノ チョウセイミツ カコウ ギジュツ ヘンシュウ イインカイ)
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| 和洋区分 | 和 |
| 標題言語 | 日本語 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 出版国 | 日本 |
| ISBN | 4915957225
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