| NCID | BN00178154 |
| タイトル | 半導体プロセス / 西澤潤一編||ハンドウタイ プロセス |
| 出版者 | 東京 : 工業調査会 , 1979.8-1985.8 |
| 形態 | 3冊 ; 27cm |
| 注記 | 各章末: 参考文献 |
| シリーズ名 | 半導体研究 ; 16巻, 19巻, 22巻[超LSI技術 ; 3, 6, 9]
|
| 分類 | NDC6:549
NDLC:ND371 |
| 件名 | NDLSH:半導体
|
| 著者情報 | 西澤, 潤一(1926-) (ニシザワ, ジュンイチ)
|
| 和洋区分 | 和 |
| 標題言語 | 日本語 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 出版国 | 日本 |
| ISBN | 4769310250(その2)
4769310463(その3)
|
| 番号 | NBN : JP79031523 |