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> 超精密加工と表面科学 : 原子レベルの生産技術
書誌詳細
NCID
BB15130805
タイトル
超精密加工と表面科学 : 原子レベルの生産技術 / 大阪大学グローバルCOEプログラム高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点, 精密工学会超精密加工専門委員会編||チョウセイミツ カコウ ト ヒョウメン カガク : ゲンシ レベル ノ セイサン ギジュツ
出版者
吹田 : 大阪大学出版会 , 2014.3
形態
v, 379p : 挿図 ; 21cm
注記
参考文献あり
分類
NDC9:501.4
件名
NDLSH:ナノマテリアル
NDLSH:表面(工学)
BSH:機械工作
著者情報
大阪大学グローバルCOEプログラム高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点
(オオサカ ダイガク グローバル COE プログラム コウキノウカ ゲンシ セイギョ セイゾウ プロセス キョウイク ケンキュウ キョテン)
精密工学会超精密加工専門委員会
(セイミツ コウガッカイ チョウセイミツ カコウ センモン イインカイ)
和洋区分
和
標題言語
日本語
本文言語
日本語
出版国
日本
ISBN
9784872594652
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