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NCIDBB15130805
タイトル超精密加工と表面科学 : 原子レベルの生産技術 / 大阪大学グローバルCOEプログラム高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点, 精密工学会超精密加工専門委員会編||チョウセイミツ カコウ ト ヒョウメン カガク : ゲンシ レベル ノ セイサン ギジュツ
出版者吹田 : 大阪大学出版会 , 2014.3
形態v, 379p : 挿図 ; 21cm
注記参考文献あり
分類NDC9:501.4
件名NDLSH:ナノマテリアル
NDLSH:表面(工学)
BSH:機械工作
著者情報大阪大学グローバルCOEプログラム高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点 (オオサカ ダイガク グローバル COE プログラム コウキノウカ ゲンシ セイギョ セイゾウ プロセス キョウイク ケンキュウ キョテン)
精密工学会超精密加工専門委員会 (セイミツ コウガッカイ チョウセイミツ カコウ センモン イインカイ)
和洋区分和
標題言語日本語
本文言語日本語
出版国日本
ISBN9784872594652
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巻号予約予約人数所在請求記号資料ID状態備考
1 0図書館(閲覧室)501.4:O214003944 利用可  

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