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書誌詳細
  

NCIDBB22938144
タイトルプラズマプロセス技術 : ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー / プラズマ・核融合学会編||プラズマ プロセス ギジュツ : ナノザイリョウ サクセイ・カコウ ノタメノ アトム テクノロジー
出版者東京 : 森北出版 , 2017.1
形態vii, 273p : 挿図 ; 22cm
別書名プラズマプロセス技術 : ナノ材料作製加工のためのアトムテクノロジー
注記文献: 各章末
分類NDLC:M213
NDC9:501.4
件名BSH:材料科学
BSH:プラズマ物理学
NDLSH:工業材料
NDLSH:プラズマ
NDLSH:ナノテクノロジー
著者情報プラズマ・核融合学会 (プラズマ カクユウゴウ ガッカイ)
和洋区分
標題言語日本語
本文言語日本語
出版国日本
ISBN9784627775619
番号NBN : JP22850011
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