| NCID | BA35144601 |
| タイトル | マイクロ加工の物理と応用 / 吉田善一著||マイクロ カコウ ノ ブツリ ト オウヨウ |
| 出版者 | 東京 : 裳華房 , 1998.3 |
| 形態 | x, 234p ; 22cm |
| 別書名 | The physics and technology of microfabrication
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| 注記 | 欧文標題は標題紙裏による
付: 参考文献, 参考書 |
| シリーズ名 | 応用物理学選書 ; 8
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| 分類 | NDC8:549.7
NDC9:549.7
NDC9:549.8
NDLC:ND371 |
| 件名 | BSH:集積回路
BSH:電子光学
NDLSH:半導体
NDLSH:機械工作
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| 著者情報 | 吉田, 善一(1957-) (ヨシダ, ヨシカズ)
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| 和洋区分 | 和 |
| 標題言語 | 日本語 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 出版国 | 日本 |
| ISBN | 4785325089
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| 番号 | NBN : JP98089753
OTHN : JLA:98013337 |