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書誌詳細
  

NCIDBA40473169
タイトルはじめての半導体製造装置 / 前田和夫著||ハジメテ ノ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ
出版者東京 : 工業調査会 , 1999.3
形態254p ; 21cm
注記さらに半導体製造装置を学ぶ人のための参考書: p245-247
引用文献および資料: p248-250
シリーズ名ビギナーズブックス ; 3
分類NDC8:549.8
NDC9:549.8
件名BSH:半導体
著者情報前田, 和夫(1935-) (マエダ, カズオ)
和洋区分和
標題言語日本語
本文言語日本語
出版国日本
ISBN4769311699
番号OTHN : JLA:99009600
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所蔵一覧
巻号予約予約人数所在請求記号資料ID状態備考
1 0図書館(閲覧室)549.8:M020016748 利用可  

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