| NCID | BA40718415 |
| タイトル | Microelectromechanical structures for materials research : symposium held April 15-16, 1998 , San Francisco, California, U.S.A. / editors, Stuart Brown ... [et al.] |
| 出版者 | Warrendale, Pa. : Materials Research Society , c1998 |
| 形態 | xi, 248 p. : ill. ; 24 cm |
| 注記 | Includes bibliographical references and index |
| シリーズ名 | Materials Research Society symposium proceedings ; v. 518
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| 分類 | LCC:TA404.2
DC21:620.1/1/072 |
| 件名 | LCSH:Material -- Research -- Equipmentandsupplies -- Congresses
LCSH:Micromechanicalsystems -- Congresses
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| 著者情報 | Brown, Stuart B.
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| 和洋区分 | 洋 |
| 標題言語 | 英語 |
| 本文言語 | 英語 |
| 出版国 | アメリカ合衆国 |
| ISBN | 1558994246
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| 番号 | LCCN : 98049136 |