| NCID | BA46716933 |
| タイトル | 次世代精密位置決め技術 / 精密工学会超精密位置決め専門委員会, 次世代精密位置決め技術編集委員会監修||ジセダイ セイミツ イチギメ ギジュツ |
| 出版者 | 東京 : フジ・テクノシステム , 2000.4 |
| 形態 | 15, 674p ; 27cm |
| 別書名 | Present and future technology of ultraprecision positioning
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| 注記 | 編集委員長: 大塚二郎
参考・引用文献: 各節末 |
| 分類 | NDC9:501.22
NDC9:531.38 |
| 件名 | BSH:精密測定
NDLSH:自動制御
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| 著者情報 | 精密工学会 (セイミツ コウガッカイ)
精密工学会超精密位置決め専門委員会 (セイミツ コウガッカイ チョウセイミツ イチギメ センモン イインカイ)
次世代精密位置決め技術編集委員会||ジセダイ セイミツ イチギメ ギジュツ ヘンシュウ イインカイ <>
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| 和洋区分 | 和 |
| 標題言語 | 日本語 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 出版国 | 日本 |
| ISBN | 493855576X
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| 番号 | OTHN : JLA:00152976 |