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書誌詳細
  

NCIDBA53699368
タイトル超微細加工の基礎 : 電子デバイスプロセス技術 / 麻蒔立男著||チョウビサイ カコウ ノ キソ : デンシ デバイス プロセス ギジュツ
版次第2版
出版者東京 : 日刊工業新聞社 , 2001.9
形態x, 295p ; 21cm
分類NDC8:549.8
NDC9:549.8
件名BSH:半導体
著者情報麻蒔, 立男(1934-) (アサマキ, タツオ)
和洋区分和
標題言語日本語
本文言語日本語
出版国日本
ISBN4526048127
番号OTHN : JLA:01045433
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1 0図書館(閲覧室)549.8:A205003663 利用可  

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