| NCID | BA54871170 |
| タイトル | Handbook of thin-film deposition processes and techniques : principles, methods, equipment, and applications / edited by Klaus K. Schuegraf |
| 版次 | 2nd ed |
| 出版者 | Norwich, NY. : Noyes , c2002 |
| 形態 | xxviii, 629 p : ill. ; 25 cm |
| 注記 | Includes bibliographies and index |
| シリーズ名 | Materials science and process technology series
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| 分類 | LCC:TK7872.T55
DC19:621.381/72 |
| 件名 | LCSH:Thinfilmdevices -- Designandconstruction -- Handbooks,manuals,etc
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| 著者情報 | Schuegraf, Klaus K.
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| 和洋区分 | 洋 |
| 標題言語 | 英語 |
| 本文言語 | 英語 |
| 出版国 | アメリカ合衆国 |
| ISBN | 0815514425
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