NCID | BA54871170 |
タイトル | Handbook of thin-film deposition processes and techniques : principles, methods, equipment, and applications / edited by Klaus K. Schuegraf |
版次 | 2nd ed |
出版者 | Norwich, NY. : Noyes , c2002 |
形態 | xxviii, 629 p : ill. ; 25 cm |
注記 | Includes bibliographies and index |
シリーズ名 | Materials science and process technology series
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分類 | LCC:TK7872.T55 DC19:621.381/72 |
件名 | LCSH:Thinfilmdevices -- Designandconstruction -- Handbooks,manuals,etc
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著者情報 | Schuegraf, Klaus K.
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和洋区分 | 洋 |
標題言語 | 英語 |
本文言語 | 英語 |
出版国 | アメリカ合衆国 |
ISBN | 0815514425
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