| NCID | BA57243403 |
| タイトル | 薄膜化技術 / 和佐清孝, 早川茂著||ハクマクカ ギジュツ |
| 版次 | 第3版 |
| 出版者 | 東京 : 共立出版 , 2002.6 |
| 形態 | viii, 316p ; 22cm |
| 注記 | 折り込図1枚: 元素周期表 (蒸気圧・スパッタ率・薄膜形成法)
文献: 各章末 |
| 分類 | NDC8:549.8
NDC9:549.8 |
| 件名 | BSH:薄膜
|
| 著者情報 | 和佐, 清孝 (ワサ, キヨタカ)
早川, 茂 (ハヤカワ, シゲル)
|
| 和洋区分 | 和 |
| 標題言語 | 日本語 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 出版国 | 日本 |
| ISBN | 4320086139
|
| 番号 | OTHN : JLA:02030790 |