NCID | BA57243403 |
タイトル | 薄膜化技術 / 和佐清孝, 早川茂著||ハクマクカ ギジュツ |
版次 | 第3版 |
出版者 | 東京 : 共立出版 , 2002.6 |
形態 | viii, 316p ; 22cm |
注記 | 折り込図1枚: 元素周期表 (蒸気圧・スパッタ率・薄膜形成法) 文献: 各章末 |
分類 | NDC8:549.8 NDC9:549.8 |
件名 | BSH:薄膜
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著者情報 | 和佐, 清孝 (ワサ, キヨタカ) 早川, 茂 (ハヤカワ, シゲル)
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和洋区分 | 和 |
標題言語 | 日本語 |
本文言語 | 日本語 |
出版国 | 日本 |
ISBN | 4320086139
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番号 | OTHN : JLA:02030790 |