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書誌詳細
  

NCIDBA6332701X
タイトルマイクロ・ナノマシン技術入門 : 半導体技術で作る微小機械とその応用 / 藤田博之著||マイクロ ナノマシン ギジュツ ニュウモン : ハンドウタイ ギジュツ デ ツクル ビショウ キカイ ト ソノ オウヨウ
出版者東京 : 工業調査会 , 2003.8
形態232p : 挿図 ; 21cm
注記参考文献: 各章末
分類NDC8:530
NDC9:530
件名BSH:マイクロマシン
著者情報藤田, 博之(1952-) (フジタ, ヒロユキ)
和洋区分和
標題言語日本語
本文言語日本語
出版国日本
ISBN4769371179
番号OTHN : TRC:03040770
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巻号予約予約人数所在請求記号資料ID状態備考
1 0図書館(閲覧室)530:H020054341 利用可  

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