| NCID | BA63829266 |
| タイトル | マイクロ波プラズマの技術 / 電気学会・マイクロ波プラズマ調査専門委員会編||マイクロハ プラズマ ノ ギジュツ |
| 出版者 | 東京 : オーム社 , 2003.9 |
| 形態 | xi, 257p ; 22cm |
| 分類 | NDC8:427.6
NDC9:427.6
NDLC:MC241 |
| 件名 | BSH:プラズマ
BSH:マイクロ波
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| 著者情報 | 電気学会・マイクロ波プラズマ調査専門委員会||デンキ ガッカイ マイクロハ プラズマ チョウサ センモン イインカイ <>
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| 和洋区分 | 和 |
| 標題言語 | 日本語 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 出版国 | 日本 |
| ISBN | 4274197107
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| 番号 | NBN : JP20479022
OTHN : TRC:03048100 |