| NCID | BA69821835 |
| タイトル | イオン工学ハンドブック : ナノテクノロジーへの道を拓く : 薄膜合成・加工・イオン注入・表面改質・デバイス応用・マイクロマシン(等) / 平尾孝編集委員長 ; 岩本信也 [ほか] 編集委員||イオン コウガク ハンド ブック : ナノ テクノロジー エノ ミチ オ ヒラク : ハクマク ゴウセイ カコウ イオン チュウニュウ ヒョウメン カイシツ デバイス オウヨウ マイクロ マシン トウ |
| 出版者 | 枚方 : イオン工学研究所
東京 : 日刊工業新聞社 (発売) , 2004.10 |
| 形態 | xviii, 1126p ; 27cm |
| 別書名 | Ion engineering handbook
ナノテクノロジーへの道を拓くイオン工学ハンドブック : 薄膜合成加工イオン注入表面改質デバイス応用マイクロマシン等
|
| 注記 | 監修: 水野博之
その他の編集委員: 尾浦憲治郎 , 鯉沼秀臣, 笹部馨, 松波弘之
参考文献あり |
| 分類 | NDC9:549.1
NDLC:ND351 |
| 件名 | NDLSH:イオン
|
| 著者情報 | 平尾, 孝 (ヒラオ, タカシ)
岩本, 信也 (イワモト, ノブヤ)
尾浦, 憲治郎(1941-) (オウラ, ケンジロウ)
鯉沼, 秀臣 (コイヌマ, ヒデオミ)
松波, 弘之(1939-) (マツナミ, ヒロユキ)
水野, 博之 (ミズノ, ヒロユキ)
水野, 博之||ミズノ, ヒロユキ
|
| 和洋区分 | 和 |
| 標題言語 | 日本語 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 出版国 | 日本 |
| ISBN | 4526053805
|