書誌詳細
  

NCIDBA70954224
タイトルレジスト材料 / 伊藤洋著 ; 高分子学会編集||レジスト ザイリョウ
出版者東京 : 共立出版 , 2005.2
形態iv, 104p : 挿図 ; 19cm
シリーズ名高分子先端材料One Point ; 10
分類NDC8:549.7
NDC9:549.7
件名BSH:リソグラフィー
BSH:感光性樹脂
著者情報高分子学会 (コウブンシ ガッカイ)
高分子学会||コウブンシ ガッカイ
和洋区分和
標題言語日本語
本文言語日本語
出版国日本
ISBN4320043723
番号OTHN : TRC:05005581
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1 0図書館(閲覧室)549.7:I205004498 利用可  

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