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書誌詳細
  

NCIDBA73952112
タイトルプラズマイオンプロセスとその応用 / 電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会編||プラズマ イオン プロセス ト ソノ オウヨウ
出版者東京 : オーム社 , 2005.10
形態xi, 279p ; 22cm
注記文献:章末
分類NDC8:549.1
NDC9:549.1
件名BSH:イオンビーム加工
BSH:プラズマ物理学
著者情報電気学会 (デンキ ガッカイ)
電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会||デンキ ガッカイ プラズマ イオン コウド リヨウ プロセス チョウサ センモン イインカイ <>
和洋区分和
標題言語日本語
本文言語日本語
出版国日本
ISBN4274201236
番号OTHN : TRC:05051699
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巻号予約予約人数所在請求記号資料ID状態備考
1 0図書館(閲覧室)549.1:D205003953 利用可  

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