| NCID | BA7423115X |
| タイトル | 半導体製造プロセスと材料 / 大見忠弘監修||ハンドウタイ セイゾウ プロセス ト ザイリョウ |
| 版次 | 普及版 |
| 出版者 | 東京 : シーエムシー出版 , 2005.10 |
| 形態 | v, 274p ; 21cm |
| 別書名 | Process and materials of semiconductor equipment
新しい半導体製造プロセスと材料
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| 注記 | 初版のタイトル: 新しい半導体製造プロセスと材料 |
| シリーズ名 | CMCテクニカルライブラリー ; 205
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| 分類 | NDC8:549.8
NDC9:549.8 |
| 件名 | BSH:半導体
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| 著者情報 | 大見, 忠弘(1939-) (オオミ, タダヒロ)
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| 和洋区分 | 和 |
| 標題言語 | 日本語 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 出版国 | 日本 |
| ISBN | 4882318660
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| 番号 | OTHN : TRC:05052586 |