| NCID | BA8002849X |
| タイトル | Optical inspection of microsystems / edited by Wolfgang Osten |
| 出版者 | Boca Raton, FL : CRC/Taylor & Francis , c2007 |
| 形態 | 503 p., [8] p. of plates : ill. (some col.), port. ; 26 cm |
| 注記 | Includes bibliographical references and index |
| シリーズ名 | Optical science and engineering ; 109
|
| 分類 | LCC:TS156.2
DC22:670.42/5 |
| 件名 | LCSH:Qualitycontrol -- Opticalmethods
LCSH:Opticaldetectors -- Industrialapplications
LCSH:Microelectronics
|
| 著者情報 | Osten, Wolfgang
|
| 和洋区分 | 洋 |
| 標題言語 | 英語 |
| 本文言語 | 英語 |
| 出版国 | アメリカ合衆国 |
| ISBN | 9780849336829
|
| 無効/取消ISBN | 0849336821
|
| 番号 | NBN : GBA612882
LCCN : 2005046670 |