| NCID | BB03511619 |
| タイトル | Silicon oxycarbide films fabricated by using an atmospheric pressure microplasma jet : structural, optical and electrical characterizations = 大気圧マイクロプラズマジェットにより作製したSiOC薄膜とその微細構造、光学・電気的物性評価 / 丁毅||Silicon oxycarbide films fabricated by using an atmospheric pressure microplasma jet : structural, optical and electrical characterizations = タイキアツ マイクロプラズマ ジェット ニヨリ サクセイ シタ SiOC ハクマク ト ソノ ビサイ コウゾウ コウガク デンキテキ ブッセイ ヒョウカ |
| 出版者 | [Saitama] : 丁毅 , 2010.3 |
| 形態 | viii, 142 leaves : ill. (some col.) ; 31 cm |
| 注記 | Title from cover
Thesis(doctral)--Saitama University, 2010 博理工甲第777号
Includes bibliographical references |
| 著者情報 | 丁, 毅(1982-) (テイ, キ)
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| 和洋区分 | 洋 |
| 標題言語 | 英語 |
| 本文言語 | 英語 |
| 出版国 | 日本 |