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書誌詳細
  

NCIDBB05352640
タイトルはじめてのMEMS : micro electro mechanical systems / 江刺正喜著||ハジメテ ノ MEMS : micro electro mechanical systems
出版者東京 : 森北出版 , 2011.3
形態230p : 挿図 ; 21cm
別書名はじめてのMEMS
注記工業調査会 2009年刊の再刊
参考文献あり
分類NDC8:530
NDC9:530
件名BSH:マイクロマシン
著者情報江刺, 正喜(1949-) (エサシ, マサヨシ)
和洋区分
標題言語日本語
本文言語日本語
出版国日本
ISBN9784627784918
番号OTHN : TRC:11015501
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