| NCID | BB07670705 |
| タイトル | はじめての半導体リソグラフィ技術 / 岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著||ハジメテ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ |
| 出版者 | 東京 : 技術評論社 , 2012.1 |
| 形態 | x, 301p : 挿図 ; 21cm |
| 別書名 | 半導体リソグラフィ技術 : はじめての
|
| 注記 | 工業調査会 2003年刊の改訂
参考文献: 各章末 |
| シリーズ名 | 現場の即戦力
|
| 分類 | NDC8:549.7
NDC9:549.7
NDLC:ND386 |
| 件名 | BSH:リソグラフィー
BSH:半導体
NDLSH:リソグラフィー
|
| 著者情報 | 岡崎, 信次 (オカザキ, シンジ)
鈴木, 章義 (スズキ, アキヨシ)
上野, 巧 (ウエノ, タクミ)
|
| 和洋区分 | 和 |
| 標題言語 | 日本語 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 出版国 | 日本 |
| ISBN | 9784774149394
|
| 番号 | NBN : JP22017817
OTHN : TRC:11060883,(JP-ItNTS)130703100 |