| NCID | BC03589205 |
| タイトル | はじめての半導体ドライエッチング技術 / 野尻一男著||ハジメテ ノ ハンドウタイ ドライ エッチング ギジュツ |
| 版次 | 改訂版 |
| 出版者 | 東京 : 技術評論社 , 2020.11 |
| 形態 | x, 188p : 挿図 ; 21cm |
| 別書名 | 半導体ドライエッチング技術 : はじめての
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| 注記 | 参考文献: 章末 |
| シリーズ名 | 現場の即戦力
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| 分類 | NDC8:549.8
NDC9:549.8
NDC10:549.8
NDLC:ND371 |
| 件名 | BSH:半導体
NDLSH:半導体
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| 著者情報 | 野尻, 一男 (ノジリ, カズオ)
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| 和洋区分 | 和 |
| 標題言語 | 日本語 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 出版国 | 日本 |
| ISBN | 9784297115999
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| 番号 | NBN : JP23450671
OTHN : TRC:20043757,(JP-TOTOH)34128053 |