NCID | BN00148324 |
タイトル | 入門真空・薄膜・スパッタリング / R.V.Stuart著 ; 毛利衛, 数坂昭夫共訳||ニュウモン シンクウ ハクマク スパッタリング |
出版者 | 東京 : 技報堂出版 , 1985.10 |
形態 | 2,2,3,145p ; 22cm |
別書名 | Vacuum technology, thin films, and sputtering 真空・薄幕・スパッタリング : 入門
|
分類 | NDC8:534.93 NDLC:NB126 |
件名 | NDLSH:真空工学
NDLSH:薄膜
|
著者情報 | Stuart, R. V. 毛利, 衛 (モウリ, マモル) 数坂, 昭夫 (カズサカ, アキオ)
|
和洋区分 | 和 |
標題言語 | 日本語 |
本文言語 | 日本語 |
原作言語 | 英語 |
出版国 | 日本 |
ISBN | 4765503585
|
番号 | NBN : JP86011799 |