書誌詳細
  

NCIDBN00182548
タイトルプロセス評価 / 西澤潤一編||プロセス ヒョウカ
出版者東京 : 工業調査会 , 1981.6
形態12, 446p : 挿図 ; 27cm
注記執筆: 飯塚尚和ほか
シリーズ名半導体研究 ; 17巻[超LSI技術 ; 4]
分類NDC8:549
NDLC:ND371
件名NDLSH:半導体
著者情報西澤, 潤一(1926-) (ニシザワ, ジュンイチ)
和洋区分和
標題言語日本語
本文言語日本語
出版国日本
番号NBN : JP81031378
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所蔵一覧
巻号予約予約人数所在請求記号資料ID状態備考
1 0図書館(書庫)549:H850194000 利用可  

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