| NCID | BN00233219 |
| タイトル | プラズマと成膜の基礎 / 小沼光晴著||プラズマ ト セイマク ノ キソ |
| 出版者 | 東京 : 日刊工業新聞社 , 1986.8 |
| 形態 | iv, 202, iiip ; 22cm |
| 注記 | 各章末: 文献 |
| 分類 | NDC8:427.6
NDC8:431.7
NDC7:427.5 |
| 件名 | BSH:プラズマ
NDLSH:プラズマ
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| 著者情報 | 小沼, 光晴(1950-) (コヌマ, ミツハル)
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| 和洋区分 | 和 |
| 標題言語 | 日本語 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 出版国 | 日本 |
| ISBN | 4526020656
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