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検索結果一覧:(本学所蔵)
> 微細加工とレジスト
書誌詳細
NCID
BN01734322
タイトル
微細加工とレジスト / 野々垣三郎著||ビサイ カコウ ト レジスト
出版者
東京 : 共立出版 , 1987.11
形態
iv, 99p ; 19cm
シリーズ名
高分子新素材one point
; 3
分類
NDC8:549.7
NDC7:549.8
件名
BSH:集積回路
NDLSH:集積回路
NDLSH:電子光学
著者情報
野々垣, 三郎
(ノノガキ, サブロウ)
和洋区分
和
標題言語
日本語
本文言語
日本語
出版国
日本
ISBN
4320042271
番号
NBN : JP88007723
OTHN : JLA:87-28502
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