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書誌詳細
  

NCIDBN01734322
タイトル微細加工とレジスト / 野々垣三郎著||ビサイ カコウ ト レジスト
出版者東京 : 共立出版 , 1987.11
形態iv, 99p ; 19cm
シリーズ名高分子新素材one point ; 3
分類NDC8:549.7
NDC7:549.8
件名BSH:集積回路
NDLSH:集積回路
NDLSH:電子光学
著者情報野々垣, 三郎 (ノノガキ, サブロウ)
和洋区分和
標題言語日本語
本文言語日本語
出版国日本
ISBN4320042271
番号NBN : JP88007723
OTHN : JLA:87-28502
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巻号予約予約人数所在請求記号資料ID状態備考
1 0図書館(閲覧室)549.7:N906022215 利用可  

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