NCID | BN02783006 |
タイトル | 真空蒸着 / ジークフリート・シラー, ウルリッヒ・ハイジッヒ著 ; 日本真空技術株式会社訳||シンクウ ジョウチャク |
出版者 | 東京 : アグネ , 1977.5 |
形態 | 144p ; 22cm |
別書名 | Bedampfungs-technik : verfahren Einrichtungen Anwendungen
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注記 | 文献:p139〜144 |
分類 | NDC6:549 NDLC:ND351 |
件名 | NDLSH:薄膜
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著者情報 | Schiller, Siegfried, 1933- Heisig, Ullrich, 1933- 日本真空技術株式会社 (ニホン シンクウ ギジュツ カブシキ ガイシャ)
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和洋区分 | 和 |
標題言語 | 日本語 |
本文言語 | 日本語 |
原作言語 | ドイツ語 |
出版国 | 日本 |
ISBN | 4750704091
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番号 | NBN : JP77022467 |