| NCID | BN03592433 |
| タイトル | 超微細加工入門 / 古川静二郎, 浅野種正共著||チョウビサイ カコウ ニュウモン |
| 出版者 | 東京 : オーム社 , 1989.6 |
| 形態 | viii, 219p ; 22cm |
| 注記 | 各章末: 参考文献 |
| 分類 | NDC8:549.7
NDC7:549.8
NDLC:ND386 |
| 件名 | BSH:集積回路
|
| 著者情報 | 古川, 静二郎(1934-) (フルカワ, セイジロウ)
浅野, 種正(1953-) (アサノ, タネマサ)
|
| 和洋区分 | 和 |
| 標題言語 | 日本語 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 出版国 | 日本 |
| ISBN | 4274032477
|
| 番号 | OTHN : JLA:89018572 |