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書誌詳細
  

NCIDBN03720533
タイトル超LSI製造・試験装置ガイドブック||チョウ LSI セイゾウ シケン ソウチ ガイドブック
出版者東京 : 工業調査会 , 1981.11-
形態冊 ; 26cm
シリーズ名電子材料別冊
分類NDC7:549.8
NDLC:ND386
件名NDLSH:集積回路
NDLSH:電子工学
著者情報工業調査会 (コウギョウ チョウサカイ)
和洋区分和
標題言語日本語
本文言語日本語
出版国日本
番号NBN : JP89014395
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所蔵一覧
巻号予約予約人数所在請求記号資料ID状態備考
11998年版0図書館(閲覧室)549.7:Ko020016643 利用可  

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