| NCID | BN06180206 |
| タイトル | ULSIプロセスの基礎技術 / 古川静二郎編 ; 石原健 [ほか] 共著||ULSI プロセス ノ キソ ギジュツ |
| 出版者 | 東京 : 丸善 , 1991.3 |
| 形態 | xi, 262p ; 22cm |
| 注記 | 各章末: 文献 |
| シリーズ名 | Maruzen advanced technology[材料工学編 ; M08]
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| 分類 | NDC8:549.7
NDC7:549.8 |
| 件名 | BSH:集積回路
NDLSH:集積回路
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| 著者情報 | 古川, 静二郎(1934-) (フルカワ, セイジロウ)
石原, 健 (イシハラ, タケシ)
堂山, 昌男(1927-) (ドウヤマ, マサオ)
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| 和洋区分 | 和 |
| 標題言語 | 日本語 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 出版国 | 日本 |
| ISBN | 4621035835
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| 番号 | NBN : JP91034096
OTHN : JLA:91009602 |