| NCID | BN13496334 |
| タイトル | ULSIグローバル・プラナリゼーションのための超精密機械的平坦化技術 / 河西敏雄, 土肥俊郎監修・編集||ULSI グローバル ・ プラナリゼーション ノ タメ ノ チョウセイミツ キカイテキ ヘイタンカ ギジュツ |
| 出版者 | 東京 : グローバルネット , 1995.5 |
| 形態 | v, 298p ; 27cm |
| 注記 | 執筆者:前田和夫ほか
各章末:参考文献 |
| 分類 | NDC8:549.7 |
| 著者情報 | 河西, 敏雄 (カワニシ, トシオ)
土肥, 俊郎 (ドイ, トシロウ)
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| 和洋区分 | 和 |
| 標題言語 | 日本語 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 出版国 | 日本 |