| NCID | BN13643698 |
| タイトル | ウルトラクリーンULSI技術 / 大見忠弘著||ウルトラクリーン ULSI ギジュツ |
| 出版者 | 東京 : 培風館 , 1995.12 |
| 形態 | xi, 366p ; 22cm |
| 別書名 | ウルトラクリーンULSI技術
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| 注記 | 参考文献: 各章末 |
| シリーズ名 | アドバンストエレクトロニクスシリーズ ; カテゴリーI[エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 15]
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| 分類 | NDC8:549.7
NDC8:549.8
NDLC:ND371 |
| 件名 | BSH:集積回路
NDLSH:半導体
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| 著者情報 | 大見, 忠弘(1939-) (オオミ, タダヒロ)
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| 和洋区分 | 和 |
| 標題言語 | 日本語 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 出版国 | 日本 |
| ISBN | 4563036153
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| 番号 | NBN : JP96031156
OTHN : JLA:95048944 |