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関連資料一覧:(本学所蔵)
著者名典拠情報
NCIDDA10392290
名称(HDNG)松本, 佳宣||マツモト, ヨシノリ
注記(NOTE)SRC:二重SOI構造による高温度用加速度センサ / 研究代表者 石田誠(石田誠, 1996.3)