NCID | DA07450479 |
名称(HDNG) | 寺嶋, 和夫||テラシマ, カズオ |
から見よ(SF) | Terashima, Kazuo |
注記(NOTE) | University of Tokyo, Faculty of Engineering 東京大学新領域創成科学研究科助教授(2002.3現在) EDSRC:プラズマ環境STMの開発とそのプラズマ材料表面プロセス原子スケール制御への応用 / 研究代表者 寺嶋和夫(寺嶋和夫, 1999.3) EDSRC:微小プラズマ材料プロセシング装置の高集積化 : マイクロプラズマチップの創製 / 研究代表者、寺嶋和夫(寺嶋和夫, 2002.3) |