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関連資料一覧：（本学所蔵）
著者名典拠情報
NCIDDA0989397X
名称(HDNG)土肥, 俊郎||ドイ, トシロウ
注記(NOTE)SRC:応用技術 / 土肥俊郎編集委員長(フジ・テクノシステム, 1996.2)により典拠作成. 第4巻編集委員の記述: 埼玉大学教育学部機械技術研究室助教授
標目のよみは「半導体平坦化CMP技術」(工業調査会, 1998.7)奥付より
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資料名所在
1半導体平坦化CMP技術 : 超LSI製造のキープロセス / 土肥俊郎, 河西敏雄, 中川威雄著. -- 工業調査会, 1998.7. -- (K books ; 134).図書館(閲覧室) 549.7:D
図書館(埼大コーナー) 549.7:D
図書館(生産原論) 549.7:D
2ULSIグローバル・プラナリゼーションのための超精密機械的平坦化技術 / 河西敏雄, 土肥俊郎監修・編集. -- グローバルネット, 1995.5.図書館(閲覧室) 549.7:Ka
図書館(埼大コーナー) 549.7:Ka
3応用技術 / 土肥俊郎編集委員長. -- フジ・テクノシステム, 1996.2. -- (超精密生産技術大系 / 河西敏雄編集代表 ; 第4巻).図書館(書庫) 532:Ty:4
図書館(生産原論) 532:Ty:4
工機械 532:Ty:4
4詳説半導体CMP技術 / 土肥俊郎編著. -- 工業調査会, 2001.1.図書館(閲覧室) 549.7:D
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